제품소개
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반도체 장비용 부품
PRODUCTSMetal Parts CVD 공정 - HEATER PARTS
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MATTSON HEATER(HEATER BLOCK) |
NOVELUS HEATER |
NOVELUS HEATER BLOCK |
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NOVELUS HEATER |
NOVELUS HEATER BLOCK |
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EDGE RING ASS’Y |
COLLIMATOR |
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CHAMBER LID ASSEMBLY |
CASSETTE STAGE ASSEMBLY |
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CHAMBER |
CHAMBER |
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GAS INJECTION |
ANODE |
CATHODE |
GAS BOX |